Máy Wet Station – Hệ thống rửa ly tâm & làm sạch linh kiện bán dẫn

1. Giới Thiệu Máy Wet Station (Hệ Thống Rửa Ly Tâm Phòng Sạch)

Máy Wet Station (Hệ thống rửa ly tâm phòng sạch) là tổ hợp thiết bị tự động hóa làm sạch bề mặt ướt cao cấp, đóng vai trò sống còn trong chuỗi dây chuyền sản xuất linh kiện điện tử vi mô, mô đun camera (Camera Module) cho điện thoại thông minh, máy tính bảng, máy tính xách tay và tấm bán dẫn Silicon Wafer.

Trong quá trình sản xuất camera và vi mạch bán dẫn, chỉ một hạt bụi nano có kích thước bằng 1/10 sợi tóc hoặc một vệt cặn nước siêu nhỏ cũng có thể làm hỏng toàn bộ cảm biến hình ảnh, gây quang sai thấu kính hoặc đoản mạch vi cấu trúc. Máy Wet Station giải quyết triệt để thách thức này bằng cách ứng dụng công nghệ rửa và sấy khô bằng lực ly tâm tốc độ cao (Spin Rinser Dryer – SRD) trong không gian buồng kín kháng hóa chất tuyệt đối.

Quá trình vận hành diễn ra tuần tự khép kín: Sản phẩm được kẹp giữ an toàn trên mâm quay chuyên dụng, sau đó buồng kín kích hoạt chu trình phun hóa chất tẩy rửa hoặc nước siêu tinh khiết Deionized (DI Water 18.2 MΩ·cm) dưới áp lực cao kết hợp lực ly tâm từ 500 đến 3.500 vòng/phút. Lực ly tâm cực lớn khiến toàn bộ dung dịch bám dính cùng các hạt cặn bẩn nano bị văng trượt tức thì ra ngoài thành buồng và thoát theo đường xả chuyên dụng. Ngay sau đó, dòng khí Nitơ (N2) tinh khiết được gia nhiệt thổi vào buồng xử lý, sấy khô hoàn toàn bề mặt sản phẩm trong tích tắc mà không để lại bất kỳ vệt ố nước hay dấu vết cặn lắng nào.

2. Các Dòng Máy Rửa Tự Động & Cấu Tạo Hệ Thống Wet Station

Tại VN TECHSUN, hệ thống Wet Station được tích hợp hoàn chỉnh giữa các dây chuyền máy rửa tự động tiên tiến, đáp ứng linh hoạt mọi công đoạn làm sạch từ thô đến tinh:

• Máy rửa tự động Auto Wash (Băng rửa tự động nhiều khoang): Dây chuyền liên hoàn thực hiện các bước ngâm hóa chất, rửa hóa chất tuần hoàn, rửa siêu âm và tráng nước khử ion DI. Hệ thống sử dụng cụm nâng hạ xylanh khí nén hoặc tay gắp robot servo vận chuyển giỏ sản phẩm tự động qua các bể theo đúng thời gian cài đặt trong Recipe.
• Máy Wet Station buồng rửa ly tâm (Spin Cleaning Station): Khoang xử lý ly tâm tốc độ cao được chế tạo từ vật liệu nhựa kỹ thuật Teflon PTFE, PVDF và Polypropylene (PP) tự nhiên không tạp chất. Các vật liệu này có khả năng trơ hoàn toàn trước các loại hóa chất tẩy rửa ăn mòn cực mạnh như axit Flohydric (HF), axit Sunfuric (H2SO4), axit Nitric (HNO3) và kiềm đặc KOH. Trục quay được điều tốc bằng động cơ Servo chính xác, tích hợp mâm kẹp chống sốc và chống trầy xước vi mạch.
• Hệ thống xối rửa nước DI & Sấy khô khí Nitơ N2 khử tĩnh điện: Béc phun nước DI đa hướng dạng xoáy nón tạo chùm tia siêu mịn rửa trôi hóa chất nhanh chóng. Đi kèm là hệ thống sấy khí Nitơ sạch được gia nhiệt kết hợp đầu phát ion hóa (Anti-Static Ionizer Nozzle), giúp triệt tiêu hoàn toàn hiện tượng tích điện tĩnh (ESD) trên bề mặt kính và linh kiện bán dẫn, ngăn ngừa bụi phòng sạch hút ngược trở lại sản phẩm sau khi sấy.
• Hệ thống hút khí thải độc cục bộ (Exhaust System): Đảm bảo toàn bộ hơi axit và dung môi độc hại trong quá trình xử lý ướt được thu gom triệt để về hệ thống xử lý khí Scrubber trung tâm, bảo vệ tuyệt đối an toàn cho kỹ thuật viên và môi trường phòng sạch.

3. Ưu Điểm Vượt Trội Của Giải Pháp Wet Station Tại VN TECHSUN

Giải pháp Wet Station của VN TECHSUN được nghiên cứu và tối ưu hóa chuyên sâu nhằm đem lại lợi ích kinh tế và chất lượng vượt bậc cho các nhà máy sản xuất công nghệ cao:

• Độ sạch đạt chuẩn Cleanroom Class 100 / Class 10: Khoang xử lý được trang bị bộ quạt trần lọc khí siêu sạch FFU màng lọc HEPA/ULPA H14, loại bỏ 99.999% hạt bụi từ kích thước 0.1 micron, duy trì môi trường vô trùng và không bụi tuyệt đối trong suốt quá trình rửa.
• Không để lại vệt nước (Water-mark Free): Nhờ sự phối hợp hoàn hảo giữa lực quay ly tâm cao tốc và dòng khí Nitơ khô nóng, sản phẩm khô ráo hoàn toàn 100% chỉ sau vài chục giây, giải quyết triệt để lỗi ố mốc kính lọc camera và đốm nước trên tấm wafer bán dẫn.
• Hệ thống điều khiển thông minh PLC & Màn hình cảm ứng HMI: Cho phép kỹ sư lập trình, lưu trữ và kích hoạt hàng trăm công thức làm sạch (Recipe Management) khác nhau cho từng mã hàng sản phẩm, kiểm soát chặt chẽ tốc độ quay, thời gian phun, lưu lượng hóa chất và áp suất khí.
• Độ bền hóa học và an toàn tối đa: Toàn bộ đường ống dẫn, van màng khí nén, bơm hóa chất đều sử dụng thương hiệu danh tiếng chuyên dùng trong công nghiệp bán dẫn (như Entegris, Parker, Piller, SMC), có cảm biến phát hiện rò rỉ dung dịch tự động ngắt khẩn cấp.

4. Ứng Dụng Trong Nhà Máy Sản Xuất Camera Module & Bán Dẫn

Máy Wet Station của VN TECHSUN là thiết bị chủ lực không thể thiếu trong các dây chuyền lắp ráp công nghệ cao:

• Sản xuất cụm Camera Module điện thoại, máy tính bảng & Laptop: Làm sạch sâu và sấy khô kính lọc hồng ngoại (IR Cut Filter), kính bảo vệ thấu kính (Cover Glass), cụm Lens Barrel trước công đoạn gắn keo quang học và hàn cảm biến CMOS/CCD.
• Ngành công nghiệp chế tạo Bán dẫn & Wafer Silicon: Tẩy rửa hóa chất cản quang (Photoresist Strip – PR Strip), làm sạch ướt sau công đoạn ăn mòn hóa học (Wet Etching) và rửa trôi axit dư trên các tấm wafer silicon 4-inch, 6-inch, 8-inch, 12-inch.
• Sản xuất màn hình hiển thị cao cấp (OLED / Micro-LED): Làm sạch tấm nền thủy tinh và chất bán dẫn màng mỏng (TFT) trước công đoạn bay hơi phủ màng chân không.
• Chế tạo bo mạch bán dẫn vi mô (High-Density Interconnect PCB): Rửa sạch bo mạch dẻo (FPC) và bản mạch in đa lớp siêu mỏng, loại bỏ hoàn toàn vi hạt kim loại dẫn điện gây ngắn mạch.

5. Đơn Vị Tiên Phong Giải Pháp Tự Động Hóa & Làm Sạch Công Nghiệp – VN TECHSUN

CÔNG TY TNHH VN TECHSUN VIỆT NAM tự hào là một trong những đơn vị tiên phong hàng đầu tại Việt Nam làm chủ hoàn toàn công nghệ thiết kế, gia công cơ khí chính xác và lập trình tích hợp hệ thống Wet Station phòng sạch:

• Năng lực kỹ thuật chuyên sâu: Đội ngũ kỹ sư cơ khí tự động hóa, kỹ sư điện tử và chuyên gia công nghệ hóa học được đào tạo bài bản, có nhiều năm kinh nghiệm làm việc cùng các đối tác công nghệ lớn của Hàn Quốc, Nhật Bản và Đài Loan.
• Thiết kế & Tùy biến theo bản vẽ dây chuyền: Chúng tôi thiết kế hệ thống tương thích hoàn hảo với layout mặt bằng phòng sạch và năng suất yêu cầu của từng nhà máy, từ trạm rửa độc lập (Stand-alone Station) đến hệ thống Wet Bench tự động hoàn toàn tích hợp cánh tay robot (In-line Robotic Wet Bench).
• Dịch vụ kỹ thuật toàn diện 24/7: Lắp đặt, chạy thử nghiệm, bàn giao công nghệ và đào tạo vận hành trực tiếp tại nhà máy; định kỳ bảo dưỡng hiệu chuẩn cảm biến; cung cấp linh kiện tiêu hao và phụ tùng thay thế chính hãng nhanh chóng.